凈化廠房滅火器的配置應遵循以下原則：

首先，滅火器的選擇應考慮潔凈廠房的特殊環(huán)境，避免選用化學干粉滅火劑、泡沫滅火劑等可能對工藝設備和潔凈室環(huán)境產生污染和腐蝕作用的滅火劑。通常，二氧化碳滅火劑因其滅火后不留痕跡、不污損、不腐蝕保護物品的特點，在潔凈室內得到普遍使用。

其次，滅火器的配置數量和位置應滿足規(guī)范要求。滅火器應設置在位置明顯且便于取用的地點，如走廊、墻角等，且不得影響安全疏散。同時，應考慮潔凈廠房的面積、火災危險等級等因素，合理配置滅火器的數量和種類。

最后，滅火器的維護和管理同樣重要。應定期檢查滅火器的壓力、外觀等是否正常，確保其處于良好狀態(tài)。同時，應對操作人員進行滅火器使用方法的培訓，以提高應急處理能力。